没有满足试验条件的电源装置，开发陷入了止步不前的状态，如果一直这样下去的话…

D公司所遇到的难题是“SEMI标准”中关于EMC（电磁兼容性）的标准“SEMI F47”。这是在半导制造装置中所要求的电源波动试验（电压暂降抗扰度）。

D公司研究开发部的F先生这样回顾当时的情况。
“本公司所擅长的大型半导体工艺装置容易受到电压下降的影响，这是难点所在。因此，在最严重的情况下，甚至有可能导致生产线停止和晶圆损伤等问题。为了证明可以规避这些风险，对本公司来说，取得SEMI F47标准认证是必由之路。”

但是，D公司持有的试验用交流／直流稳定电源存在几个问题。过去的电源电压和频率不能任意调整，在精度方面也存在疑问，而且没有可以实施100kVA以上大容量试验的交流电源。
“为了使用现有设备建立试验条件，我们想了很多办法，包括将电源进行并联和串联等等，但是，从设备规格上来看是很难实现的。另外，除电源波动试验之外，在电波暗室中实施的噪声评估试验等的其他试验也需要可以灵活使用的电源。”（Y先生）

在找不到满足试验条件的电源的情况下，研究开发部完全处于束手无策的状态，新半导体制造装置的开发止动不前。